Block Coploymer Nanolithography for Sub-50 nm Structure Applications

Författare
Lunds universitet Anette Löftstrand
(Anette Löfstrand., Härtill 4 uppsatser, Diss.(sammanfattning) Lund : Lunds universitet, 2021, Med populärvetenskaplig sammanfattning på svenska)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Division of Solid State Physics, Department of Physics, Faculty of Engineering, Lund University, Media-tryck 2021 Sverige, Lund, Lund 93 sidor illustrationer 24 cm 978-91-8039-044-6